產品技術

E. 半導體膠帶

E. 半導體膠帶

碁達半導體膠帶依晶圓製程分為「晶圓切割」及「背面研磨」兩大應用。透過基材、膠層厚度與黏著/解黏特性設計,在加工過程提供晶圓固定、表面防護及後續移除功能。背面研磨依移除方式與製程再細分為 Non-UV、UV 解黏及 DBG 專用三類。
兩大製程・四類膠帶方案
01|晶圓切割
切割時穩定固定、UV 後降低黏著
02|Non-UV 背面研磨
無須 UV 曝光,依製程條件剝離
03|UV 解黏背磨
UV 曝光降低黏著,便於研磨後移除
04|先切後磨(DBG)
支援半切割、背磨與晶片分離
選型考量:晶圓/凸塊結構、膠層緩衝性、基材、黏著力、解黏設備與殘膠管制。

半導體膠帶|製程選型總表
依製程與解黏方式快速選擇合適的膠帶系列。
產品分類 解黏方式 代表型號/選型重點
e1|晶圓切割膠帶 UV 解黏
UO090 UO110
支撐晶圓切割;365 nm UV 曝光後降黏
e2|Non-UV 研磨膠帶 不需 UV
NO205-BC NO170-TC NO130-TC NT595-DL
背面研磨防水、緩衝與翹曲/殘膠控制
e3|UV 研磨膠帶 UV 解黏
UT170-DL UT260-DL UT440-DL UO210-DL
背面研磨期間固定;曝光後便於移除
e4|DBG 專用研磨膠帶 UV 解黏
UC165-DL
先切後磨(DBG),支援半切割、背磨及晶片分離
註:本表僅供製程初步選型,產品厚度、黏著力及測試條件請以各型號最新技術資料表(TDS)為準。
膠帶產品結構參考圖
產品結構示意圖 1
產品結構示意圖 1
半導體膠帶|BG 與 DBG 製程比較
傳統背面研磨(BG)與先切後磨(DBG)
晶圓背面研磨膠帶主要在薄化製程中提供表面保護、防水、固定與應力緩衝。依製程順序可分為傳統背面研磨(Back Grinding,BG)與先切後磨(Dicing Before Grinding,DBG);而 UV/Non-UV 則是研磨膠帶的解黏方式差異,兩者屬於不同分類維度。
傳統背面研磨(BG)
晶圓正面貼附保護膠帶後進行背面研磨。可依設備及後續剝離需求,選擇 Non-UV 研磨膠帶(NO、NT 系列)或 UV 解黏研磨膠帶(UT、UO 系列)。
先切後磨(DBG)
依先半切、再背磨與晶片分離的製程需求,選擇 DBG 專用研磨膠帶(UC 系列),重視晶片邊緣保護、製程固定與研磨後移除。
BG/DBG 製程差異示意
傳統晶圓背磨與先切後磨製程差異示意
背磨膠帶材料結構對照
不同系列依製程及解黏需求採用不同膠層結構與基材,以下整理系列層級的選型資訊。
產品系列 製程/解黏方式 膠層結構 基材
NO BG/Non-UV 單層 PO
NT BG/Non-UV 雙層 PET
UT BG/UV 解黏 雙層 PET
UO BG/UV 解黏 雙層 PO
UC DBG/UV 解黏 雙層 Composite PET
備註:表列為系列層級的典型結構資訊;實際膠層厚度、基材及黏著/解黏條件,請以各型號最新技術資料表(TDS)為準。

e1. 切割膠帶

  • 晶圓切割膠帶
    晶圓切割膠帶

    適用於晶圓切割製程的壓克力PO膠帶與壓克力PVC膠帶

e2. Non-UV 研磨膠帶

  • Non-UV 型研磨膠帶
    Non-UV 型研磨膠帶

    適用於晶圓研磨製造的壓克力PET膠帶與壓克力PO膠帶

e3. UV-Tape 研磨膠帶

  • UV 型研磨膠帶
    UV 型研磨膠帶

    適用於晶圓研磨製造的壓克力PET膠帶與壓克力PO膠帶

e4. DBG 研磨膠帶

  • DBG 研磨膠帶
    DBG 研磨膠帶

    適用於晶圓研磨製造的壓克力PET膠帶與壓克力PO膠帶

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