产品技术

E. 半导体胶带

E. 半导体胶带

碁达半导体胶带按晶圆工艺分为“晶圆切割”与“背面研磨”两大应用。通过基材、胶层厚度及粘着/解粘特性设计,在加工过程中提供晶圆固定、表面保护与后续移除功能。背面研磨再按移除方式与工艺细分为 Non-UV、UV 解粘及 DBG 专用三类。
两大工艺・四类胶带方案
01|晶圆切割
切割时稳定固定、UV 后降低粘着
02|Non-UV 背面研磨
无需 UV 曝光,按工艺条件剥离
03|UV 解粘背磨
UV 曝光降低粘着,便于研磨后移除
04|先切后磨(DBG)
支持半切割、背磨与晶片分离
选型因素:晶圆/凸块结构、胶层缓冲性、基材、粘着力、解粘设备和残胶控制。

半导体胶带|制程选型总表
根据制程与解粘方式快速选择合适的胶带系列。
产品分类 解粘方式 代表型号/选型重点
e1|晶圆切割胶带 UV 解粘
UO090 UO110
支撑晶圆切割;经 365 nm UV 曝光后降低粘附力
e2|Non-UV 研磨胶带 无需 UV
NO205-BC NO170-TC NO130-TC NT595-DL
背面研磨过程中的防水、缓冲及翘曲/残胶控制
e3|UV 研磨胶带 UV 解粘
UT170-DL UT260-DL UT440-DL UO210-DL
背面研磨期间固定;曝光后便于移除
e4|DBG 专用研磨胶带 UV 解粘
UC165-DL
先切后磨(DBG),支持半切割、背磨及芯片分离
注:本表仅供制程初步选型,产品厚度、粘附力及测试条件请以各型号最新技术资料表(TDS)为准。
胶带产品结构参考图
产品结构示意图 1
产品结构示意图 1
半导体胶带|BG 与 DBG 制程比较
传统背面研磨(BG)与先切后磨(DBG)
晶圆背面研磨胶带主要在薄化制程中提供表面保护、防水、固定与应力缓冲。根据制程顺序可分为传统背面研磨(Back Grinding,BG)与先切后磨(Dicing Before Grinding,DBG);而 UV/Non-UV 则是研磨胶带的解粘方式差异,两者属于不同的分类维度。
传统背面研磨(BG)
晶圆正面贴附保护胶带后进行背面研磨。可根据设备及后续剥离需求,选择 Non-UV 研磨胶带(NO、NT 系列)或 UV 解粘研磨胶带(UT、UO 系列)。
先切后磨(DBG)
根据先半切、再背磨与芯片分离的制程需求,选择 DBG 专用研磨胶带(UC 系列),重视芯片边缘保护、制程固定与研磨后移除。
BG/DBG 制程差异示意
传统晶圆背磨与先切后磨制程差异示意
背磨胶带材料结构对照
不同系列根据制程及解粘需求采用不同胶层结构与基材,以下整理系列层级的选型信息。
产品系列 制程/解粘方式 胶层结构 基材
NO BG/Non-UV 单层 PO
NT BG/Non-UV 双层 PET
UT BG/UV 解粘 双层 PET
UO BG/UV 解粘 双层 PO
UC DBG/UV 解粘 双层 Composite PET
备注:表列为系列层级的典型结构信息;实际胶层厚度、基材及粘附/解粘条件,请以各型号最新技术资料表(TDS)为准。

e1. 切割胶带

  • 晶圆切割胶带
    晶圆切割胶带

    适用于晶圆切割制程的压克力PO胶带与压克力PVC胶带

e2. Non-UV 研磨胶带

  • Non-UV 研磨胶带
    Non-UV 研磨胶带

    适用于晶圆研磨制造的压克力PET胶带与压克力PO胶带

e3. UV-Tape 研磨胶带

  • UV 型研磨胶带
    UV 型研磨胶带

    适用于晶圆研磨制造的压克力PET胶带与压克力PO胶带

e4. DBG 研磨胶带

  • DBG 研磨胶带
    DBG 研磨胶带

    适用于晶圆研磨制造的压克力PET胶带与压克力PO胶带

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