產品技術

C. 導熱/複合材料

暫時性接合膠

暫時性接合膠(Temporary Bonding Adhesive, TBA)用於將晶圓或晶片暫時固定於載板,協助支撐晶圓薄化、背面研磨、重佈線層(RDL)、曝光、顯影、蝕刻、濺鍍及電鍍等製程。
材料在加工期間提供穩定接著與支撐,協助控制翹曲及總厚度變異(TTV);完成製程後可依材料系統選擇水解或溶劑解離,兼顧加工可靠性與後續分離需求。
核心技術特色
穩定支撐
在薄化與多道加工製程中提供暫時固定,協助維持晶圓完整性。
平坦度與製程相容性
協助控制翹曲與 TTV,並兼顧耐熱、耐化學與低釋氣需求。
可控解離
提供水解型及溶劑解離型選擇,配合載板分離與後續清潔流程。
兩種材料平台
EN-679|水解型
水性光固化塗料;以水解方式分離。
EZ-D7B|溶劑解離型
非水性光固化塗料;以 NEP/GBL 等溶劑解離。
典型應用:晶圓薄化/背面研磨/RDL 製程/先進封裝(如 FOWLP)
TBA 暫時性接合膠|使用情境
使用情境一|製程示意
TBA 暫時性接合膠使用情境圖一
圖一:暫時性接合膠的製程應用示意。
使用情境二|應用示意
TBA 暫時性接合膠使用情境圖二
圖二:暫時性接合膠的應用示意。
兩種解離機制|材料選型
水解型|EN-679
水性光固化配方,以水解離流程對應後續載板分離;代表測試條件為 25°C 或 80°C。
溶劑解離型|EZ-D7B
非水性光固化配方,可依溶劑系統選擇 NEP 或 GBL 解離流程。
EN-679/EZ-D7B|技術規格
以下為兩款暫時性接合材料的代表性測試數據。
測試項目 EN-679|水解型 EZ-D7B|溶劑解離型
材料及固化系統
系統 改質壓克力樹脂/單劑型(1K)/UV+熱雙固化 改質壓克力樹脂/單劑型(1K)/UV+熱雙固化
特性 不含溶劑/極低揮發性物質/快速接著 不含溶劑/極低揮發性物質/快速接著
物理與熱特性
黏度 40 ± 5 Pa·s 120 ± 10 Pa·s
觸變係數 4.5 ± 0.5 6.0 ± 0.5
邵氏硬度(Shore D) 89 83
5% 熱分解溫度(Td5) 350°C 300°C
玻璃轉移溫度(Tg) 220°C 180°C
解離與高溫可靠度
水解時間 @25°C 15 min —
水解時間 @80°C 3 min —
溶劑解離時間 @25°C(NEP) — 5 min
溶劑解離時間 @25°C(GBL) — 90 min
高溫儲存可靠性 250°C × 5 h;無氣泡、無裂痕 250°C × 2 h;無氣泡、無裂痕
測試方法與條件
黏度
Anton Paar Viscometer;#T-E Bar @ 50 rpm
觸變係數
ASTM D2196
邵氏硬度
ASTM D2240;TECLOCK Durometer
5% 熱分解溫度(Td5)
TGA(熱重分析);原資料另列 365 nm LED、100 mW × 30 s
玻璃轉移溫度(Tg)
TMA;原資料另列 365 nm LED、100 mW × 30 s
水解時間
25°C/80°C,GTA method
溶劑解離時間
25°C,NEP 或 GBL,GTA method
高溫儲存測試
固化條狀試片:0.1 mm × 1 cm × 3 cm
包裝與儲存:30 mL/針筒,提供客製化包裝;建議 0~5°C 冷藏保存,實際保存及回溫條件請依產品技術資料表。
註:上述數據僅供參考,非出貨保證規格;實際規格與測試條件請以各產品最新技術資料表(TDS)為準。
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