產品技術

A. 液態材料

鑽石輪轉刀切割液

碁達科技鑽石輪轉刀切割液為水溶性高分子配方,專為晶圓鑽石刀切割製程設計。藉由表面潤濕、潤滑及切割碎屑分散作用,協助降低碎屑在晶圓表面的接觸與累積,減少表面髒污與腐蝕風險,提升晶圓切割製程的清潔表現。
核心技術特色
01
快速潤濕
低表面張力設計,協助切割液迅速潤濕晶圓表面,提供潤滑作用。
02
碎屑分散
兩性分子成分有助於分散並帶離切割產生的碎屑,降低表面堆積。
03
刀具潤滑
切割時提供潤滑,協助降低刀具磨耗並延長使用壽命。
典型應用
半導體晶圓鑽石刀切割、切割碎屑分散及晶圓表面清潔輔助。
晶圓切割製程應用
以潤濕、分散與清潔輔助作用,改善切割過程的表面管理。
01潤濕/潤滑
低表面張力配方協助潤濕切割區域,提供潤滑作用。
02碎屑分散
分散切割過程產生的晶圓碎屑,降低局部聚集。
03清潔輔助
協助碎屑帶離晶圓表面,降低髒污與腐蝕風險。
產品技術規格
四款產品之代表性物性資料,供製程選型與評估參考。
項目 單位 SD-18D SD-18FA WS-80 SD-18S
pH 值 — 7 ± 1 4.5 ± 1 5 ± 1 9 ± 1
黏度 cP @ 25°C 1.5 ± 0.5 13 ± 3 105 ± 20 2.8 ± 1
導電度 µS/cm 195 ± 15 700 ± 20 950 ± 50 240 ± 40
比重 — 1.008 ± 0.01 1.016 ± 0.01 1.016 ± 0.01 1.004 ± 0.002
表面張力 mN/m 35 ± 1 29 ± 2 29 ± 2 29.5 ± 1
包裝 1 加侖 HDPE 桶裝。
註:上述數據僅供參考,非出貨保證規格;實際規格請以各產品最新技術資料表(TDS)為準。
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