规格
| 项目 | 单位 | SD-18D | SD-18FA | WS-80 | SD-18S |
|---|---|---|---|---|---|
| pH值 | - | 7±1 | 4.5±1 | 5±1 | 9±1 |
| 黏度 | cP@25˚C | 1.5±0.5 | 13±3 | 105±20 | 2.8±1 |
| 导电度 | - | 195±15 | 700±20 | 200±20 | 240±40 |
| 比重 | - | 1.008±0.01 | 1.016±0.01 | 1.016±0.01 | 1.004±0.002 |
| 表面张力 | Dyne/cm | 35±1 | 29±2 | 29±2 | 29.5±1 |
钻石刀切割液
分装单位：1加仑
晶圆切割清洗液为水溶性高分子溶液，提供化学与物理兼具之作用。于钻石刀切割制程中搭配使用晶圆切割清洗液，可将切割中产生之晶圆碎屑快速分散，使晶圆碎屑不易接触与累积于晶圆表面，进而降低腐蚀与晶圆表面脏污之问题。
- 低表面张力，可以快速润湿晶圆表面，达到润滑效果
- 具有两性分子，可快速带离碎屑，增加晶圆洁净度
- 具有润滑效果，可延长钻石刀具寿命
