产品技术

晶圆胶带

研磨胶带

晶圆在IC封装前需进行研磨减薄,晶圆研磨胶带(Back Grinding Tape, BG Tape)能于研磨过程中贴附晶圆正面电路,提供保护、防水与固定功能,加工完成后可轻松去除。

研磨胶带之技术指标:

  • 渗水:胶带必需防止水渗入电路
  • 残胶:必须 0 检出
  • 翘曲:磨得愈薄翘曲愈容易发生(要求要<6 mm)
  • TTV:记忆体产品,要求特别严格,部分要求<2 um

GTA提供压克力PET胶带与压克力PO胶带,依照制程需求区分

• 传统研磨(BG)制程:UV型研磨胶带及Non-UV型研磨胶带

• 先切后磨(DBG)制程:DBG 专用研磨胶带

• 传统研磨(BG)与先切后研磨(DBG)制程差异

 

GTA产品设计包含UV光敏黏胶层、模量梯度结构与缓冲层,可应用于焊线(wire bond)制程晶圆与锡球/凸块(bumping wafer)制程晶圆

类型 特点 适用制程 优势
🌞UV型研磨胶 黏胶层对UV光敏感,365nm LED曝光后附着力下降。 标准晶圆研磨(焊线制程晶圆/锡球凸块晶圆) 。 撕除干净、无残胶,适用于高洁净度需求。
⚙️Non-UV研磨胶带 黏胶层不需UV照射,维持稳定高附着力。 无UV曝光设备的研磨制程。 操作简便,确保晶圆不移位,仍维持低残胶特性。
💎DBG专用研磨胶带 特殊配方,可承受先切后磨(DBG)多重制程。 Dicing Before Grinding (半切→背磨→分离) 减少崩裂、降低翘曲,确保晶片边缘完整性,提高良率。

GTA晶圆背磨胶带产品类别

背磨胶带 UT系列 (BG) UO系列 (BG) UC系列 (DBG) NO系列 (BG) NT系列 (BG)
特征 UV UV UV Non-UV Non-UV
胶层 双层 双层 双层 单层 双层
胶种 压克力 压克力 压克力 压克力 压克力
底膜 PET PO Composite PET PO PET
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