产品技术

液态材料

雷射开槽保护液

雷射切割保护液为水性高分子溶液,经旋转涂覆工序于积体电路晶圆表面,形成一耐温的高分子薄膜,当雷射机对晶圆进行开槽加工制程时,雷射切割保护液可提高生产良率,降低雷射开槽过程切割道崩裂、介电层剥离等品质问题。

  • 透过有机材料气化来达到降温效果 ,提高雷射开槽解析度
  • 耐温高分子薄膜保护层,阻隔碎屑喷溅刮伤积体电路
  • 暂时性涂层,经过纯水冲洗移除

规格

项目 单位 LS-168F LS-168P LG-168
pH值 - 3.5±1 4.5±1 4.5±1
黏度 cP@25˚C 60±5 64±6 220±30
比重 - 1.04±0.01 1.03±0.01 1.04±0.03
表面张力 mN/m 42±5 42±5 45±5
水溶性 - Y Y Y

使用情境

包装

5 及20 L HDPE桶

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